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AWL 系列晶圆检查系统兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合在前道到后道工程的晶圆检查。
目前，AWL 系列晶圆搬运机拥有AWL046、AWL068两种机型，分别可适用于 4/6 英寸晶圆检测，6/8 英寸晶圆检测，其适应范围广，且搭配灵活 ，可自由设置的检查模式，充分符合人机工程学设计，操作舒适、简便。
AWL系列晶圆检查系统优势
●360°宏观检查
AWL 系列晶圆检查系统具有宏观检查手臂，可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查1的360°旋转，更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面倾斜角度≤70°，晶背1倾斜角度≤90°，晶背2倾斜角度≤160°，利用旋转功能、倾斜 角度，*可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。
●人机工程学设计
晶圆检查系统的LCD显示屏，可为操作者提供更直观的视觉体验，可清晰的显示当前检查项目及次序，调试参数一目了然。
晶圆检查系统的手动快速释放真空载物台可提高操作者的舒适度和工作效率。
晶圆缺陷检查应用案例
AWL系列晶圆检查系统技术规格
型号 | AWL046 | AWL068 | |
晶圆尺寸（SEMI 规格） | 150mm/125mm/100mm | 200mm/150mm | |
晶圆最小厚度 | 150μm | 180μm | |
型 | 开放式片盒（SEMI Stad.25(26)-slot） | ||
片盒数量 | 1 Port | ||
检查模式设置 | 全检 / 奇数检 / 偶数检 / 手动选择 | ||
片盒内晶圆扫描 | ● | ● | |
晶圆预定位 | ● | ● | |
晶圆定位 | 非接触式定位平边 /V 型槽，支持 0°、90°、180°、270°朝向设置 | ||
检查功能 | 微观检查 | ● | ● |
晶面宏观检查 | ● | ● | |
晶背宏观检查 1 | ● | ● | |
晶背宏观检查 2 | ● | ● | |
适配显微镜 | SOPTOP金相显微镜MX68R | ||
载物台 | 6 英寸四层机械移动平台，低手位 X、Y 方向同 轴调节 ；晶圆承片台，可 360°旋转 ；移动行程228mm(X 方 向 )×170mm（Y 方 向 ） 观 察 范 围 ： | 8 英寸四层机械移动平台，低手位 X、Y 方向同 轴调节 ；晶圆承片台，可 360°旋转 , 移动行程280mm（X 方向）×210mm（Y 方向）观察范围 ： | |
电源 | 1P/220V/16A | ||
真空源 | —70KPA | ||
