TripleGauge® BCG552 在一个传感器法兰中结合了 3 个真空传感元件。这款全新 Trigon TM系列的旗舰产品提供了从 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1500 mbar) 的极宽测量范围。凭借其附加的 ATM 传感器，BCG552 非常适合压差测量并在多种应用中用作真空开关。

支持的 Bayard-Alpert 双灯丝在 UHV 和 HV 范围内提供的精度、可重复性和使用寿命，而小型电容膜片压力计在 ATM 范围内具有的精度，并且与气体类型无关。

德国inficon热电离真空计BCG552优点

ü 3 + 1 传感元件可实现极宽的测量范围、降低成本并节省空间

ü 2 条用于 Bayard-Alpert 系统的灯丝

ü 10 Torr 以上的独立于气体类型的压力测量为任何气体混合物提供更可靠的负载锁定控制

ü 压差测量消除了与大气压力变化相关的不确定性

ü 自动高真空皮拉尼调节减少了操作员干预

ü 电隔离电子器件以避免杂散电流

ü 滑动排放模式可避免切换排放流时压力跳跃和冻结

ü 设定点继电器

ü 明亮、大尺寸 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面

ü 模拟输出、RS232C串行接口、EtherCAT®

ü 可与 VGC50x 控制器系列结合使用

ü 向后兼容 TripleGauge® BCG450

ü RoHS 合规性

德国inficon热电离真空计BCG552典型应用

· 半导体工艺、传输室和负载锁定室中的压力测量

· 工业涂料

· 低至真空范围系统的一般真空测量和控制

inficon热电离真空计BCG552规格

测量范围（空气、O 2、CO、N 2） 5 × 10 -10 … 1500 毫巴

准确性

950 ... 1050 毫巴 ：读数的 ±2.5%

50 ... 950 毫巴 ：读数的±5%

1 × 10 -8 … 50 毫巴： ±15 读数

重复性：读数的 5%，1 × 10 -8 … 1050 mbar（稳定 10 分钟后）

暴露于真空的材料 不锈钢、NiFe、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、Ni、钨