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enkoba夹具主要产品:
1. 夹具
2. 夹持系统
3. 负载搬运设备
4. 边缘夹具
5. 晶圆处理
enkoba夹具产品型号:
l LAM
l LAMM
enkoba夹具产品特点:
enkoba夹具LAM 可以通过 2 种方式连接到手拉葫芦:
“德马格销”用于频繁从环链葫芦上拆下负载搬运装置。
德马格手拉葫芦也有相应的适配。“德马格销”的缺点是不能 - 不应该 - 相对于环链葫芦转动 LAM,否则悬挂点 =“德马格 - 销”和接收叉上的磨损是很大。
“德马格 – 攻丝”也无法进行能量传输。
enkoba夹具1.1.2 旋转接头
enkoba夹具为了能够相对于手拉葫芦旋转旋转夹具,ENKOBA 开发了一种旋转馈通装置,可以使旋转夹具相对于手拉葫芦无限旋转!
enkoba夹具产品应用:
边缘enkoba夹具晶圆可以按顺序从载体中取出或插入载体
将损坏底层晶圆或被颗粒污染的风险降至夹具低
晶圆不会像传统的边缘夹具那样变形。这样可以避免损坏
借助电动夹爪,路径、力和速度可自由编程
我们的边缘夹具的机构也可以由真空驱动
使用这两种驱动变体,只能移动一个钳口
晶圆从上方和下方平行夹持,仅在边缘区域(夹具大 5 毫米)。
边缘抓手可以与我们开发的脚蹼结合使用。这允许无限的旋转运动。
旋转夹具用于抓取原始和机加工的转向外壳。
转向器通过气动夹紧杆固定在中心孔中。然后舵机可以转动90度。被旋转。松开时,向夹紧气缸的压缩空气供应中断,夹紧杆向后旋转,从而松开工件。
enkoba夹具接触面用塑料覆盖,夹紧杆用黄铜夹夹住舵机,这两种措施都起到保护加工后的舵机的作用。
为了组装旋转馈通,必须拆下支撑板(用 2 个沉头螺钉固定)。
然后将轮毂从基体中转出。
将轮毂固定在 LAM 上,将基体推到轮毂上,同时旋转(使密封圈干净地插入基体)并重新组装支撑盘。
在组装过程中,可以/应该在轴承点上涂抹一些润滑脂。
旋转馈通的负载能力与旋转夹具的负载能力相适应 = 50 kg。