德国inficon高温压力计CDG200D
时间:2024-11-05 阅读:110
德国inficon高温压力计CDG200D
inficon高温压力计CDG200D功能简介:
INFICOSKY CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG200D 真空计温度控制在 200 °C,具有的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICO电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICOCDG 压力传感器品质,成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
inficon高温压力计CDG200D优点
ü 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
ü 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
ü 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
ü 诊断端口便于快速服务与维护
ü 两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命
ü 信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
ü 合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
inficon高温压力计CDG200D典型应用
ü ECT、CTD、PVD和其他半导体生产工艺
ü 化学和腐蚀性高温过程
ü 一般薄膜和真空工艺,需要仪表保护
inficon高温压力计CDG200D规格
Ø 准确性阅读%:0.4
Ø 精度%:0.003
Ø 输出信号(模拟)V (dc):0.. +10
Ø 响应时间:30ms
Ø 暴露于真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L )
inficon高温压力计CDG200D产品料号
inficon高温压力计CDG200D外形尺寸:
inficon高温压力计CDG200D料号明细:
3CF1-651-2300 CDG200D 1 Torr; 16-KF
3CF1-651-230B CDG200D 1 Torr; 16-KF
3CF1-651-2320 CDG200D 1 Torr; 16-KF; P-Bus
3CF1-653-2300 CDG200D 1 Torr; 16-CF-R
3CF1-653-2320 CDG200D 1 Torr; 16-CF-R; P-Bus
3CF1-653-23G0 CDG200D 1 Torr; 16-CF-R; EtherCAT
3CF1-659-2300 CDG200D 1 Torr; 1/2"Ø
3CF1-65E-2300 CDG200D 1 Torr; 8-VCR
3CF1-65E-230B CDG200D 1 Torr; 8-VCR
3CF1-65E-2310 CDG200D 1 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-65E-23G0 CDG200D 1 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-65E-23GB CDG200D 1 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-65H-2300 CDG200D 1 Torr; 8-VCR long
3CF1-65H-230B CDG200D 1 Torr; 8-VCR long
3CF1-661-2300 CDG200D 1 mbar; 16-KF
3CF1-661-2320 CDG200D 1 mbar; 16-KF; P-Bus
3CF1-661-2380 CDG200D 1 mbar; 16-KF; EtherCAT
3CF1-663-2300 CDG200D 1 mbar; 16-CF-R
3CF1-751-2300 CDG200D 2 Torr; 16-KF
3CF1-75E-2300 CDG200D 2 Torr; 8-VCR
3CF1-75E-230B CDG200D 2 Torr; 8-VCR
3CF1-75H-2300 CDG200D 2 Torr; 8-VCR long
3CF1-851-2320 CDG200D 5 Torr; 16-KF; P-Bus
3CF1-85E-2300 CDG200D 5 Torr; 8-VCR
3CF1-861-2300 CDG200D 5 mbar; 16-KF
3CF1-861-2320 CDG200D 5 mbar; 16-KF; P-Bus
3CF1-951-2300 CDG200D 10 Torr; 16-KF
3CF1-951-230B CDG200D 10 Torr; 16-KF
3CF1-953-2300 CDG200D 10 Torr; 16-CF-R
3CF1-953-230B CDG200D 10 Torr; 16-CF-R
3CF1-953-2320 CDG200D 10 Torr; 16-CF-R; P-Bus
3CF1-959-2300 CDG200D 10 Torr; 1/2"Ø
3CF1-95D-2300 CDG200D 10 Torr; 4-VCR female
3CF1-95E-2300 CDG200D 10 Torr; 8-VCR
3CF1-95E-230B CDG200D 10 Torr; 8-VCR
3CF1-95E-2310 CDG200D 10 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-95E-231B CDG200D 10 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-95E-2380 CDG200D 10 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-95E-238B CDG200D 10 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-95E-23G0 CDG200D 10 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-95E-23GB CDG200D 10 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-95H-2300 CDG200D 10 Torr; 8-VCR long
3CF1-95H-230B CDG200D 10 Torr; 8-VCR long
3CF1-95H-2310 CDG200D 10 Torr; 8-VCR-long; D-Net
3CF1-961-2300 CDG200D 10 mbar; 16-KF
3CF1-96E-2300 CDG200D 10 mbar; 8-VCR
3CF1-A51-23G0 CDG200D 20 Torr; 16-KF; EtherCAT
3CF1-A53-2300 CDG200D 20 Torr; 16-CF-R
3CF1-A53-230B CDG200D 20 Torr; 16-CF-R
3CF1-A5E-2300 CDG200D 20 Torr; 8-VCR
3CF1-A5E-230B CDG200D 20 Torr; 8-VCR
3CF1-A5E-231B CDG200D 20 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-A5E-2380 CDG200D 20 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-A5E-23E0 CDG200D 20 Torr; 8-VCR; 4-20mA
3CF1-A5E-23G0 CDG200D 20 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-A5E-23GB CDG200D 20 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-B5E-231B CDG200D 50 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-B5E-23GB CDG200D 50 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-C51-2300 CDG200D 100 Torr; 16-KF
3CF1-C51-230B CDG200D 100 Torr; 16-KF
3CF1-C53-2300 CDG200D 100 Torr; 16-CF-R
3CF1-C53-230B CDG200D 100 Torr; 16-CF-R
3CF1-C5C-2300 CDG200D 100 Torr; 4-VCR-m
3CF1-C5E-010B CDG200D 100 Torr; 8-VCR; 9 pin D-Sub
3CF1-C5E-2300 CDG200D 100 Torr; 8-VCR
3CF1-C5E-230B CDG200D 100 Torr; 8-VCR
3CF1-C5E-2310 CDG200D 100 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-C5E-231B CDG200D 100 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-C5E-23G0 CDG200D 100 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-C5E-23GB CDG200D 100 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-C61-2300 CDG200D 100 mbar; 16-KF
3CF1-C61-2320 CDG200D 100 mbar; 16-KF; P-Bus
3CF1-C61-232B CDG200D 100 mbar; 16-KF; P-Bus
3CF1-C6E-2300 CDG200D 100 mbar; 8-VCR
3CF1-D5E-2380 CDG200D 200 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-D5E-23G0 CDG200D 200 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-D5E-23GB CDG200D 200 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-E5E-2300 CDG200D 500 Torr; 8-VCR
3CF1-E5E-230B CDG200D 500 Torr; 8-VCR
3CF1-E5E-2310 CDG200D 500 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-E5E-2310C CDG200D 500 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-E5E-23G0 CDG200D 500 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-F51-2300 CDG200D 1000 Torr; 16-KF
3CF1-F51-230B CDG200D 1000 Torr; 16-KF
3CF1-F51-2320 CDG200D 1000 Torr; 16-KF; P-Bus
3CF1-F53-23G0 CDG200D 1000 Torr; 16-CF-R; EtherCAT
3CF1-F59-2300 CDG200D 1000 Torr; 1/2"Ø
3CF1-F5C-2300 CDG200D 1000 Torr; 4-VCR male
3CF1-F5E-0100 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; 9 pin D-Sub
3CF1-F5E-2300 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR
3CF1-F5E-230B CDG200D 1000 Torr; 8-VCR
3CF1-F5E-2310 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-F5E-231B CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-F5E-23E0 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; 4-20mA
3CF1-F5E-23G0 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-F5E-23GB CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-F5H-2300 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR long
3CF1-G61-2300 CDG200D 1100 mbar; 16-KF
3CF1-G63-2300 CDG200D 1100 mbar; 16-CF
3CF1-G6E-2300 CDG200D 1100 mbar; 8-VCR