NanoCala光学薄膜厚度测量系统

Ocean Optics Inc 美国海洋光学是*的微型光纤光谱仪制造商，其光谱仪应用于各行各业，涵盖光电检测、生物医学、生命科学、环境检测、材料、化学、膜厚测量、工业过程控制、照明和显示等等领域。到目前为止，海洋光学在*已经卖出近十五万套光谱仪，其光谱仪光谱范围覆盖153-2500nm。

NanoCalc是一种用户可配置的膜厚测量系统，它利用分光光谱反射仪来精确地测量光学或非光学薄膜厚度，可广泛应用于半导体、医疗和工业生产中。

NanoCala光学薄膜厚度测量系统 利用白光干涉测量法的原理，NanoCalc用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据，由于反射率n和k随膜厚的不同而变化，NanoCalc根据这一特性来进行曲线拟合从而求得膜厚。在NanoCalc中，不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述，从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。NanoCalc的膜厚测量范围为1nm到1mm，只要待测材料有一定的透射或反射就能通过NanoCalc进行膜厚测量，这些材料包括氧化物、氮化物和保护膜层等，通常这些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃灯。

1nm以上的金属膜厚也能测量，只要不是*不透光的。对于已知的系统，3层以内的多层膜厚测量可以在不到一秒钟时间内完成。

通常拟合曲线和实际曲线由于干涉会引起一些差异，NanoCalc的算法充分考虑到了这一点，从而可以在比较粗糙的表面进行测量。

产品主要优势和特点

• UV/VIS/NIR高分辨率的配置

• 测量准确度在1nm，精度在0.1nm

• 可测量大10层薄膜

• 膜厚测量小可至1nm，大可至1mm

• 可测量小1nm厚的透明金属层

• 提供试验台及附件用于复杂外形材料的测量

• 对表面缺陷和光滑度不敏感

• 庞大的材质数据库，保证各种材料的精确测量