MX63/MX63L 半导体/FPD检查显微镜
满足电子行业需求

功能性

为满足电子行业的人体工学和安全性要求而设计的附加功能以增强分析能力

人性化

简洁的显微镜设置使用户调整和再调用系统配置变得更为轻松。

MX63/MX63L 半导体/FPD检查显微镜

*的成像技术

我们成熟可靠的光学器件和优良的成像技术可获得清晰图像，并完成可靠检测。

模块化

用户可通过选择适合其应用的模块进行系统定制。

*的分析工具

MX63系列的各种观察功能可生成清晰的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新
照明技术以及奥林巴斯Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结
果提供更多选择。

从不可见到可见：MIX观察与采集
通过暗场与明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用，MIX观察技术能够获得特殊的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以观察的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，有助于观察样品的表面纹理。

轻松生成全景图像:即时MIA

利用多图像拼接(MIA)功能, 用户移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速地完成图像拼接—电动载物台无需该操作。奥林巴斯Stream软件利用图案识别生成全景图像，让用户获得更宽的视场。