场发射扫描电子显微镜Thermo Scientific 配备能谱仪和冷台。扫描电镜和能谱仪，可用于测试各种材料，如金属材料、高分子材料、无机材料（矿物、岩土、甚至含水分材料）等的样品表面二次电子形貌信息，背散射电子组分区分，能谱元素成分分析。结合冷台，可通过控制样品室内温度和湿度，模拟环境测试样品在动态环境中的形貌和组分变化，并记录这些变化的过程。

场发射扫描电子显微镜Thermo Scientific 

1       电子光学：

1.1   发射源：高分辨肖特基场发射电子枪。

1.2   加速电压：200V – 30kV。

*1.3 放大倍数：6× - 2,500,000×。

*1.4 电镜内设计有压差真空系统，保护低真空/环境真空下电子枪，延长寿命。

*1.5 大的电子束束流：1pA -200nA连续可调，保证能谱高效工作。

2       真空系统：

2.1   1个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵+2个离子泵

2.2 集成的离子泵备用电池（用于意外断电保护）

2.2   高真空模式：＜6×10-4 Pa （测试导电样品或喷金处理样品）

*2.3 低真空模式：10 – 200 Pa （直接测试不导电样品）

*2.4 环境真空模式：10 – 4000 Pa （测试含水分样品）

*2.5 高真空模式下的换样时间：≤3.5min

*2.6 环境真空模式下的换样时间：≤4.5min
 

3       分辨率：

独立的高真空探测器，分辨率指标

3.1   高真空分辨率30 kV下1.0 nm (二次电子)

*3.2 高真空分辨率30 kV下2.5 nm (背散射电子)

3.3 高真空分辨率1 kV下3.0 nm (二次电子)

独立的低真空探测器

*3.4 低真空分辨率30 kV下1.3 nm (二次电子)

*3.5 低真空分辨率30 kV下2.5 nm (背散射电子)

3.6 低真空分辨率3 kV下3.0 nm (背散射电子)

独立环境真空探测器

*3.7环境真空分辨率30 kV下1.3 nm (二次电子)