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产品参数:
1 电子光学:
1.1 发射源:钨灯丝(高性能电子光学镜筒,双阳极热发射电子枪)
1.2 固定式物镜光阑,无需手动调整使用方便
*1.3 加速电压:200V – 30kV,自动256级偏压设计
1.4 放大倍数:6× - 1000000×
1.5 极靴内有一路单独抽真空系统,保证在低真空和环境模式下电子枪高真空和不受污染,延长灯丝寿命
1.6 电子束束流:可达到的大值不小于2µA,并连续可调
1.7 使用工厂预对中灯丝更换方便
2 真空系统
2.1 1个250 l/s分子涡轮泵+1个机械泵
2.2 高真空模式:<1×10-5 Pa
*2.3 低真空模式:10 – 130 Pa
*2.4 环境真空模式:10 – 2600 Pa
*2.5 高真空模式下的换样时间:≤150秒
*2.6 低真空及环境真空模式下的换样时间:≤270秒
3 分辨率
3.1 高真空模式下的分辨率
3.1.1 30 kV下3.0 nm (二次电子)
3.1.2 30 kV下4.0 nm (背散射电子)
*3.1.3 3 kV下8.0 nm (二次电子)
**3.2 环境真空模式下的分辨率(以英文样本公布的参数为准,并作为验收指标)
**3.2.1 30 kV下3.0 nm (二次电子)
3.2.2 具备独立的环境真空/超低真空模式二次电子探头
Prisma E材料科学SEM
对于需要*性能和易用性的多用户实验室而言,完整的SEM。