ScanWave扫描近场微波阻抗显微镜模块适配于各类主流品牌的AFM。其不仅能进行纳米尺度空间分辨的电导率及介电常数的测量，还能进行载流子浓度以及半导体P/N型的测量。相比于导电原子力显微镜，sIMM很好的弥补了其无法测量绝缘体的遗憾。相比于扫描电容显微镜，sIMM拥有更高测量频率从而实现更高电学分辨率。因此，sIMM适合于各类材料包括导体、半导体、绝缘体/电介质、掩埋式结构、晶体管等样品。

ScanWave 50nm超高分辨率，~100nm内部电学探测，导体、半导体、绝缘体的广泛适用度，为您提供电导率、介电常数、掺杂浓度纳米级

高灵敏度电学表征成像的解决方案。
适配各种AFM平台的独立扫描模块

模块包括微波信号发生器、探针干涉模块、

自主同轴屏蔽探针、以及微波近场软件，可

应用于各种AFM平台。

特殊MEMS结构探针，有效避免散杂磁场的干扰。

专业多功能自由切换电学显微镜测试功能体验

sMIM-C成像：介电常数、电容变化；
 

 sMIM-R成像：电导率、电阻率变化；
 

 dC/dV 振幅：载流子浓度；

          
 dC/dV 相位：载流子类型+/- ；

dR/dV 振幅：相关损失系数；

      
      dR/dV 相位：相关损失系数；