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●主要技术参数:
t | 单位 | KGPS-100 | KGPS -160 | KGPS -200 | KGPS -250 |
坩埚有效容积 | mm | Φ50×300 | Φ150×600 | Φ2000×500 | Φ400×750 |
中频电源功率 | Kw | 80 | 100 | 200 | 250 |
中频电源频率 | Hz | 8000 | 4000 | 4000 | 2500 |
zui高工作温度 | ℃ | 3200 | 3000 | 3000 | 3000 |
极限真空度 | Pa | 1.2×10-1 | 1.2×10-1 | 1.2×10-1 | 1.2×10-1 |
压升率 | Pa/h | 2 | 2 | 2 | 2 |
恒温区温差 | ℃ | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 |