VEGA钨灯丝扫描电镜

LaB6发射源

TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6(六硼化镧)作为电子发射源。LaB6的优势包括：稳定的电子发射源(与场发射电子源相比)，在阴极较低温度下可获取比较高的束流(与钨灯丝电子源相比)。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流，LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。

现代电子光路

*的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式

以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器"

透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素，并减少了动态扭曲效应

结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™)，可模拟和优化电子束

镜筒设计提供了全自动电子光路设置，镜筒不含机械对中结构

3维电子束技术提供了实时立体图像

检修方便

只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于较好状态。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率大化，操作简化。

自动操作

通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间，并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言(Python)用户可以进入软件大多数功能，包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。

用户界面友好的软件

用户界面有各种语言版本

多用户界面(包括了EasySEMTM模式)不同账户的权利使常规分析过程更快

图像文件管理与报告生成

内置的自动系统检查

通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断

模块化软件体系结构

VEGA钨灯丝扫描电镜标准的软件模块包括了：测量工具、图像处理、对象区域等

选配软件包括了：颗粒度分析、三维表面重构等