蔡司ZEISS XENOS超精密三坐标测量机

可在各类要求高测量精度的领域使用——从科研机构的测量实验室、航空和航天工业直至光学工业。这一测量机的测量精度达到技术极限,其测量范围近1立方米，测量精度达到0.3μm。创新的驱动技术和碳化硅陶瓷材料的使用也确保了机器的动态性能。

蔡司ZEISS XENOS超精密三坐标测量机

创新的机械设计

 ZEISS XENOS新型的机械设计基于经过验证的 zeiss center max.令人印象深刻。与标准桥式测量机不同:Y导轨分布于侧壁顶部,分离式移动行程轴仅横梁于Y轴方向移动,更小及恒定的移动重量一一与移动式平台相比堪称真正的优势。

所有轴均采用线性驱动

 XENOS的所有轴均采用线性驱动。其优点:高速、加速极快、定位精度高、驱动无剪切力影响结合超高分辨率光栅尺技术, XENOS的线性驱动可获得高度稳定性及低于结合超高分辨率光栅尺技术, XENOS的线性驱动可获得高度稳定性及低于100纳米的*定位精度。例如,测针偏移量越恒定,即可获得更佳的测量精度,于测量曲面时更显见另一优势:测针的移动路径与预定值越吻合,即可实现越出色的精确性。

 虚拟*驱动

于测量曲面时更显见另一优势:测针的移动路径与预定值越吻合,即可实现越出色的精确性。虚拟*驱动 XENOS于Y轴向配备双线性驱动系统,得益于蔡司全新的*驱动技术可实现优异的同步控制。该技术可据X轴位置*分布驱动力作为全新控制系统及算法之*结合,这是在整个测量范围内获得优异的测量精度及运动稳定性的关键因素。