产品概述:

FS4000气体质量流量传感器采用新科技的微机电系统（DMEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量二氧化碳监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）

FS4003微型气体流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。

FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围大到50SLPM；可用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等

FS4008产品特点:FS4003微型气体流量传感器

   - 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计

  - 支持多种连接方式，易于安装与使用

    - 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量

    - 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高

    - 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压

    - 零点稳定度高

    - 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性

    - 低功耗、低压损

    - 响应速度快

产品特点:

性能参数

FS4003

FS4008

单位

通 径

3

8

mm

大流量

2, 3, 4, 5

10, 20, 30, 40, 50

SLPM

量程比

100:1

精 度

±(1.5+0.2FS)

%

重复性

0.75

%

零点输出飘移

±30

mV

输出飘移

0.12

%/oC

响应时间

100

ms

工作电源

8~18Vdc,100mA

输出方式

线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc

大流量压损

100

600

pa

大工作压力

0.5

MPa

工作温度

-10 ~ +55

oC

存储温度

-20 ~ +65

oC

工作湿度

<95%RH（无结冰、无凝露）

机械接口

BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头

校准方式

空气（或其他气体），20oC，101.325kPa

机械尺寸: