新一代晶圆测温技术——TC wafer系统

TC-WAFER晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台，测量精度可达mk级别，可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值，也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况，还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。

智测电子还提供整个实验室过程的有线温度计量，保证温度传感器的长期测量精度。

合肥智测电子致力于高精度温测、温控设备的生产和研发定制，为半导体设备提供可靠的国产解决方案

  TC为热电偶（Thermocouple）的简称。Tc Wafer热电偶则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布；同时，也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等。（温度的均匀与否，良率）

TC Wafer主要应用于PVD设备，CVD设备，RTA设备等半导体设备工艺温度均一性检测，用于判定半导体制程工艺是否存在温度工艺缺陷的重要手段。

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* 测量范围和精度可以根据您的要求进行调整；
* 温度响应时间可以控制在微秒级别；
* 传感器的材料和工艺可以满足特定的应用需求；
* 可以提供即插即用的安装方式和数据采集系统。

我们可以根据您的具体需求，提供最合适的TC wafer传感器解决方案，以确保生产过程的稳定性和产品质量。如有需要，请联系我们获取更多信息或定制服务。