FJ系列分子真空泵机组-西安诚德真空设备有限公司手机版

产品简介

FJ系列分子泵机组是根据真空知识原理，由各性能复合分子泵或涡轮分子泵，前级抽气泵，隔断放气阀，前级管路，断水保护器，分子泵电源，控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。具有启动时间快、真空度高、安装方便，操作简单，易于联接，性能优异，运行可靠、清洁环保、噪音低等优点。广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。

详细介绍

技术参数：

型号	FJ-110		FJ-620		FJ-620N		FJ-620C		FJ-700
进气口法兰	DN100LF	DN100CF	DN160LF	DN160CF	DN160LF	DN160CF	DN160LF	DN160CF	DN160LF	DN160CF
抽气速率L/S（对空气）	110		600		600		600		700
压缩比 N₂ H₂	10⁹ 6×10³		10⁹ 6×10³		10⁹ 6×10³		10⁹ 6×10³		10⁹ 6×10³
极限压强（Pa）	6×10^-6	6×10^-7	6×10^-6	6×10^-7	6×10^-6	6×10^-7	6×10^-7	6×10^-8	6×10^-6	6×10^-7
输入电压频率（V/Hz）	220±20/50±1		380±20/50±1
冷却水压力（kg/cm^-2）	0.5～1		0.5～1		0.5～1		0.5～1		0.5～1
前级泵型号	RVP-6
环境温度	4～40