上海伯东普发涡轮分子泵 HiPace 80-伯东企业（上海）有限公司手机版

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因产品配置不同，价格货期需要电议，图片仅供参考，一切以实际成交合同为准。 涡轮分子泵 HiPace® 80

上海伯东普发涡轮分子泵 HiPace 80

上海伯东销售维修德国普发

涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵. HiPace 80 对所有气体的高抽速和更高压缩比使其广泛应用于真空行业. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据尽可能保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 80 可以任意位置安装. 自然风冷, 多种配件可选满足广泛应用.

上海伯东普发涡轮分子泵 HiPace 80 特性

稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统

结构紧凑, 满足更小的安装空间要求

分子泵高气流量和高抽速

基本款任意角度安装

防护等级 IP 54, 符合工业环境要求

可应用于腐蚀性气体工艺

分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证

涡轮分子泵 HiPace 80 技术参数

进气口		DN 63 ISO-K	DN 63 CF-F	DN 40 ISO-KF	DN 63 ISO-K	DN 63 CF-F	DN 40 ISO-KF
图片
分子泵控制器	型号	标配 TC 110	标配 TC 110	标配 TC 110	选配 TCP 350	选配 TCP 350	选配 TCP 350
抽速	Ar L/S	66	66	30	66	66	30
	H₂ L/S	48	48	38	48	48	38
	He L/S	58	58	41	58	58	41
	N₂ L/S	67	67	35	67	67	35
压缩比	Ar	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹
	H₂	1.4X10⁵	1.4X10⁵	1.4X10⁵	1.4X10⁵	1.4X10⁵	1.4X10⁵
	He	1.3X10⁷	1.3X10⁷	1.3X10⁷	1.3X10⁷	1.3X10⁷	1.3X10⁷
	N₂	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹	1X10¹¹
全转速时气体流量	Ar hPa l/s	0.54	0.54	0.54	0.54	0.54	0.54
	H₂hPa l/s	15.3	15.3	15.3	15.3	15.3	15.3
	He hPa l/s	2.7	2.7	2.7	2.7	2.7	2.7
	N₂hPa l/s	1.3	1.3	1.3	1.3	1.3	1.3
极限压力	hPa	＜1X10^-7	＜5X10^-10	＜1X10^-7	＜1x10^-7	＜5x10^-10	＜1x10^-7
max预抽真空	N₂	22	22	22	22	22	22
电压 ± 5 %	VDC	24	24	24	24	24	24
max电流	A	4.6	4.6	4.6	5.5	4.6	4.6
转速± 2 %	RPM	90000	90000	90000	90000	90000	90000
声噪	dB(A)	≤48	≤48	≤48	≤48	≤48	≤48
允许max磁场	mT	3.3	3.3	3.3	3.3	3.3	3.3
启动时间	min	1.7	1.7	1.7	3	3	3
重量	kg	2.4	3.8	2.4	2.1	3.5	2.1

* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用

涡轮分子泵 HiPace 80 抽速

涡轮分子泵 HiPace 80 尺寸图

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80 套装:

上海伯东提供完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 80 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:

分子泵	分子泵电源与控制器连接线	风扇	OmniControl 200	接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m
				接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m

分子泵应用 HiPace 80

分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析

半导体: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks

工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造

研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术

上海伯东客户分子泵应用一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.
伯东普发分子泵 Hipace 80

上海伯东客户分子泵应用二：HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备
伯东普发分子泵 Hipace 80

上海伯东客户分子泵应用三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔体
伯东普发分子泵 Hipace 80

涡轮分子泵 HiPace 80 目前在售型号：

分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 DN 40 ISO-F

分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TCP 350 DN 40 ISO-KF

分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 Profibus DN 40 ISO-KF

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 DN 40 ISO-KF

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 电源 OPS 70 Profibus DN 40 ISO-KF

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 DN 40 ISO-KF

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 63 ISO-K

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 63 CF-F

分子泵 HiPace 80 TC 110 E74 电源 OPS 70 DN 40 ISO-KF

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上海伯东 Pfeiffer

涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速*高 90,000 rpm, 极限真空大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用.

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