影响UV光解除臭设备治理VOCs效率的主要因素如下：
UV波长，起始温度，初始浓度，相对湿度，停留时间，反应介质。

初始浓度的影响

1、随着甲苯浓度增高，降解效率降低。这是由于真空紫外灯发射的185 nm的紫外线能量强度有限，单位时间内光解效率下降。
2、单纯的增加灯管的数量是无法解决高浓度有机气体问题，紫外光解技术不适合中高浓度VOCs气体。

相对湿度的影响

1、相对湿度低的条件下，氧气吸收了大部分185nm紫外光，随着湿度的增加一部分是水蒸气与氧气竞争吸收185nm波长的紫外光，水蒸气吸收了更多的185nm紫外光，产生更多羟基自由基；
2、水蒸气与活性氧反应生成羟基自由基；
3、羟基自由基的氧化性要强于臭氧、活性氧，从而光解速度加快，促进单位时间去除率的增加。

湿度差的影响

1、通过大量实验证明：风速越大，水蒸气进出口的当然湿度差越小，这也就是说风速越大，羟基自由基产生量的当然值越少。
2、风速小的工况下，羟基自由基对挥发性有机物的贡献大，风速大的工况下，羟基自由基对有机物降解的作用变得十分有限。

停留时间的影响

1、在一定范围内，停留时间增加，甲苯的去除效率有明显增高。原因是停留时间增加，185 nm紫外光和有机物碰撞次数增加。
2、当停留时间达到11s后，延长停留时间，甲苯的降解效率增加不明显。尤其是在低浓度下，延长停留时间并不能有效的增加甲苯去除效率。

温度和臭氧的影响

1、真空紫外设备进口的风速影响了紫外灯的灯管表面温度，灯管表面温度与紫外灯的发光效率有直接关系，灯表温高于某一数值时会直接影响其发光效率。
2、风速增大，臭氧浓度降低，臭氧产生量没有明显变化，说明在3m/s时真空紫外已经被空气中氧气充分吸收，增大空气进气量，灯管自身产生的臭氧量没有明显增加。

臭氧的影响

1、臭氧与甲苯在自然状态下是不发生化学反应的。
2、臭氧协同真空紫外
臭氧协同真空紫外对甲苯是有降解效果的。
254 nm的紫外光可以促进臭氧产生氧自由基，从而氧化甲苯。
臭氧在真空紫外条件下与空气中的水蒸气可产生羟基自由基，羟基自由基可氧化甲苯。