私人定制 该产品为定制产品，价格需电议，*
仁荷微电子科技有限公司主要从事质量流量器的研制、开发、制造、销售以及质量流量器各种配件模具的设计、加工等相关的服务。产品包括超高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和服务支持方案。本公司产品气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类*领域，为客户提供各种气体管道输送系统的全面服务。深受广大客户的肯定及认同。

我公司生产的气体质量流量控制器所使用的技术全由我们*技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术申请 ,每一个部件我们都以精益求精的质量服务广大客户，让客户体验到自动化流量控制设备带来的改变，为现有的产品技术升级提供基础服务。 致力于为客户开发“生产工艺*化和成本化”的解决方案及相关产品。并且能够提供高效优质的售后服务。

产品优势：
本公司自主开发研制的产品质量流量计，是一种*的智能精密质量流量测量仪表。可直接用来测量管道中介质的质量流量及总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。 该流量计即使在恶劣的工作环境下也能表现出优异的性能。对工况条件也没有苛刻的要求。具有抗*力强，测量精度高、量程比大、工作稳定可靠、对安装要求低、对流体状态要求低，压力损失小等优点，且易清洗、具备自排空功能；其基本技术指标已达到*水平， 每台传感器都由不锈钢材料制造，变送器的多种输出能满足您的各种需求。我公司生产的产品所使用的技术全由我们*技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术申请
MF系列

MF-50/100/200C   MF-100/200M
MF产品系列特点：
有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如三氯化硼、*、氟化氢等等）；有很宽的流量范围，产品zui小流量范围可达0~10sccm，zui大流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~*（量程比为50:1）。
——耐高压（zui大工作压力可达100bar）
——响应时间快≤1sec
——模拟输入输出接口（0-5Vdc或4-20mA可选）
——连接尺寸与其他标准质量流量器兼容
——尺寸小
——连接方便，快拆快拧
——交货周期短
——优惠的价格性价比
——准确率高
——稳定的流量控制
——压力范围广

用途和特点
（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。
结构

气体质量流量计由流量传感器（Sensor），分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了。
工作原理
•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。
•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
•分流器决定主通道的流量。
•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。
•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电+5V。的流量控制范围是（2~100）%F.S（程比为50：1）

主要技术指标

编号 项目 MF-200C MF-200M
1 流量规格（N2） 10sccm～30slpm 
2 准确度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重复精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 响应时间 ≤2sec（特别要求时：≤1sec）
5 耐压 ≤90bar
6 工作环境温度 0℃～50℃
7 输入输出信号 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供电 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范围 2～100％满量程

技术问答：

1.什么情况下用质量流量计, 什么情况下用质量流量控制器 ? 
一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。

2.  质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么？ 
(1)  流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计 / 质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
(2)  测量控制的自动化
质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3)  精确地定量控制流量
质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4)  适用范围宽
有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品zui小流量范围可达0～5 sccm，zui大流量范围可达0～200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量