MF5000微型热式气体质量流量计 MEMS微机电流量传感器

产品简介：

MF5000微型气体质量流量计采用是（MEMS）流量传感器芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表，主要技术性能处于水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点；针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计；且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装和维护方面也具有其*的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。

产品特点：

 　 - 采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术，传感器的尺寸缩小到了微米量级，使该流量计的灵敏度大大提高。

 　 - 在单个芯片上实现了多传感器集成，使该流量计的量程比（范围度）大大提高。

 　 - 传感器零点稳定度较之传统热式质量流量计有*的改善。

 　 - 结合二次仪表的微电脑智能技术，使流量计重复性好，实现了计量准确可靠。

 　 - 技术进步带来的结构简化，使流量计较之传统的机械式仪表，压力损失大幅度减小，*地降低了能源消耗。

 　 - 采用LCD显示"瞬时流量"和"累计流量"，清晰直观，读数方便。

 　 - 产品融合了电磁兼容设计技术，具有更高抗*力。

 　 - 流量计带有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理。

 　 - 可以选配4～20mA标准电流信号输出。

型号         通径（mm）  接口（inch）     L          H    W     d       a       b       c

MF5003     3  1/8"        85     124  35     Φ3   25     16     50

MF5006     6  1/4"        95     127  35     Φ6   25     18     50

MF5008  8      3/8"        105  134  35     Φ8   25     22     50

MF5012     12  1/2"      116  137  40     Φ12 30     25     50

MF5019     19  3/4"      152  149  40     Φ19 30     40     70

技术参数：微型热式气体质量流量计 MEMS流量仪表明柏

精确度           ±(1.5+0.2FS)%

测量范围        0.01~65m/sec 

测量管径        1~19 mm    

使用环境         温度: -20~65

显  示             瞬时流量; 累计流量                  

输出模式        4~20mA; RS485; RS232; 0~5V; 脉冲

校准条件        20oC; 101.325 kPa.

产品选型：微型热式气体质量流量计 MEMS流量仪表明柏

型号通径(mm)接口(inch)工作压力(MPa)      测量范围

                                     sccm         SLPM        SCFM        NCMH

MF5003   3       1/8" 3.0   15-1500   0.15-15            

MF5006   6       1/4" 3.0          0.5-50       0.02-2       0.035-3.5

MF5008   8       3/8" 3.0          1.2-120    0.045-4.5 0.075-7.5

MF5012   12     1/2" 3.0          3-300        0.1-10       0.17-17

MF5019   19     3/4" 3.0          8-800        0.28-28    0.48-48