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PBR260 普发真空规供应中心可,下面介绍几种测量范围为10-8~105Pa的常用真空计,其应用十分广泛,性能较好,价格较低:
1 概述 上世纪80时代有关文件将常用真空计归纳为六大类[1] ,即热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计(可丈量超高、高真空)、电容薄膜真空计、热电偶真空计、电阻真空计及紧缩式真空计。同一时代又呈现压敏(压力活络元件)电阻真空计,现在共有七大类。本文仅介绍运用广泛功用较好且价格较低的几种真空计。
2电离真空计
电离真空计的离子流与压强关系为线性关系(直接丈量参数与所需丈量参数之间为线性关系,可作为直观外表),规管(丈量元件)丈量上限由规管非线性不跨越20%所对应的压强断定,丈量下限由规管本底压强示值的10倍断定[2]。(在非线性不跨越20%时,可近似为线性丈量)电离计总的丈量规划为10-8~102Pa,一般说来,每一种结构的规管只能掩盖一部分。(每一种结构的规管发生的离子流与压强在必定规划内成线性相关)BA计收集极做成针状,它的X光本底电流小,因而下限可达10-8Pa,是一种超高真空计。它的上限为10-1Pa,灯丝是钨丝。
DL-2型真空规管在上世纪50时代在我国出产,它是高真空规管,丈量规划是lO-5~10-1Pa,钨灯丝。钨灯丝在高压强易氧化而烧断,规管在10-1Pa作业寿数约1个星期。因而上限不能跨越10-1Pa。70时代研发了DL-5型中真空规管[3]。它的丈量规划是10-4~10Pa。该规管在*先用敷氧化钇铱丝作灯丝,能够在高压强作业。高压强规管的几许规范要小,以减小电子在行程中与气体分子磕碰。后来有人做出_DL-8型规管,它的几许规范比DL-5更小,上限可达100Pa。热阴极电离计在压强大于10Pa时运用不太适合(丈量元件在高压强下易氧化而烧断)。在高压强时发射电流应减小。上世纪80时代,用敷氧化钇铱丝替代BA计中的钨丝做出DL-7型BA计规管[4]。它的丈量规划是5×lO-8~10-1Pa,与钨丝的BA计比较,它更适合在较高压强下作业。
同在80时代,有人将敷氧化钇铱丝替代DL-2型规管中的钨丝,做成DL-9型规管[5],使上限压强扩展一个数量级,丈量规划为10-5~1Pa。在研讨吸气剂功用时,应在小发射电流下作业,以减小电离计的吸气效应。在有害气氛下作业用小发射电流能够延伸灯丝寿数。
电离计的过错为[1]:10-8~10-1Pa,△=±70%;10-5~10-1Pa,△=土50%;10-3~10Pa,△=±50%。
单片机面世后不久,就开始用单片机操控电离真空计[6]。单片机操作替代了原电路中的调零点、调满偏、调发射、换量程等手工操作,并有许多功用板,例如RS232串口,模拟量输出等可与计算机联机,真空计还能够用单片机设置输出信号。
3热电偶真空计
上世纪50时代,已有DL-3(ZJ51)型热偶规管出产,它的加热丝是铂金丝,热偶丝是康铜—镍铬丝。它在定流方法的特性曲线如图2曲线2所示。上世纪80时代研发出了ZJ53B、ZJ54B等热偶真空规管[7],它们的加热丝与热偶丝都是康铜镍铬丝,直径比DL-3型规管的丝还细,因而作业压强比DL-3型规管高。它们定流方法的特性曲线如图2曲线1所示。
DL-3型丈量规划是10-1~60Pa,ZJ53B、ZJ54B丈量规划是10-1~400Pa。热偶真空计过错为[8]压强小于5×102Pa时:士20%;压强不小于5×102Pa时:±50%。以上两种热电偶规管,定流作业方法大热电偶电动势为10mV,相当于179oC。
定温式热电偶计可扩展上限,例如ZDO-150型定温式热电偶真空计丈量规划是1~105Pa[9]。
4电阻真空计
电阻真空计作业方法分定压式和定温式。定压式丈量规划为1~102Pa,定温式丈量规划可扩展到1~105Pa。
5 压敏电阻真空计 上世纪70时代凯勒公司压敏电阻传感器进入市场。80时代我国研发出用压 敏电阻做成的HLP-03型低真空计[10] 。丈量规划是10 Pa~110 kPa。传感器在10~100 Pa之间温度漂移较严峻,会给真空计带来很大的过错。压敏电阻真空计精度高,线性好,功用安稳,是结构简略、价格便宜的一种真空计。在要求丈量大于100 Pa的场合下,选择压敏电阻真空计较适合,它的过错约为±25%。
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