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真空模组
真空模组，可在10-7PA的真空环境下运行，耐温达200℃，真空模组的设计首要考虑机构和材料。此系列产品大部分组件采用不锈钢加工或热膨胀系数相当的并且出气率低的材料。此系列产品主要应用于真空室。高温室，高洁净度环境。
特点：
一体化设计，可靠易用
标准化设计制造60，90，,10三种规格，可定制其他规格
工作环境温度-196℃至200℃
适用真空度10-7PA
模块化设计
免维护设计
承载，导向，驱动一体
高承载，高精度，高速度
简单易用，可靠性高，以保证高效率
