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德国PI P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器
P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器
· X和Y向上的行程达100微米×100微米
· 电容式传感器使分辨率达0.1纳米
· 带直接驱动器的高速版本
· 可提供真空兼容和非磁性版本
· 并联运动实现更高精度和动态
· 导向误差主动补偿的并行计量
· 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
· 50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用
· 扫描显微镜
· 共聚焦显微镜
· 掩模/晶圆定位
· 表面测量技术
· 纳米压印
· 显微操纵
· 图像处理/稳定
· 高运动平面度和直线度的纳米定位
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、*稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们*真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
运动直接在运动平台上测量,*不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现*的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有小的质量惯性和相同的设计,可实现快速、动态和精密的运动。
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
订购信息
带直接驱动器
P-733.2DD 高动态精密XY向纳米定位系统,30 微米 × 30 微米,直接驱动,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器
带Sub-D连接器(公头)的版本
P-733.2CD 精密XY向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器
带LEMO连接器的版本
P-733.2CL 精密XY向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米,电容传感器,平行计量,LEMO连接器
配件
P-733.AP1 接装板用于将P-733 压电工作台安装在M-545 XY位移平台上 线性定位器,真空兼容达10-9百帕
P-733.2VL 精密XY向纳米定位系统,100微米 × 100微米,电容传感器,平行计量,LEMO连接器,真空兼容至10-6百帕
P-733.2VD 精密XY向纳米定位系统,100微米 × 100微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器,真空兼容至10-6百帕
P-733.2UD 精密XY向纳米定位系统,100微米 × 100微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器,真空兼容至10-9百帕
德国PI P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器