HPL 系列直线电机模组-昆山同茂电子有限公司手机版

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HPL 系列直线电机模组

Design Features

￭ Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
￭定位精度达（直线误差修正后）：±1µm（Travel≤200mm）
￭稳定且优良的轴系提供了平滑运动，经算法优化可以获得小的动态跟随误差
￭线性表现优良的光栅反馈系统，可以获得point-to-point位置精度

￭标准的模块化设计，灵活的单轴/多轴解决方案
￭整体密封结构，轻量化、高刚性结构设计，低成本，高性能
HPL-170LM直线电机平台采用无铁芯直线电机驱动，平台行程从100至600mm。该平台拥有优良的设计，严苛的轴系装配工艺，但成本低，这使得HPL-170LM直线电机平台得以广泛适用于需要成本效益、精密解决方案的工业应用，如半导体晶圆检测、微电子组件测试、取放、DNA测序、激光加工等领域。

产品简介

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