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形状测量激光显微系统
形状测量激光显微系统 型号 | 显微系统 | VK-X260K | VK-X160K | VK-X130K | ||
控制器 | VK-X250K | VK-X150K | VK-X120K | |||
综合倍率 | 28000 倍以下*1 | 19200 倍以下*1 | ||||
视野 (zui小观察范围) | 11 µm 至 5400 µm | 16 µm 至 5400 µm | ||||
帧频率 | 激光测量速度 | 4 至120 Hz、7900 Hz*2 | ||||
测量原理 | 光学系统 | 针孔共聚焦光学系统 | ||||
光接收元件 | 光电倍增器、16 bit 感应 | |||||
扫描方式 (常规测量时及图像连接时) | 自动上下限设置功能 高速光量化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描) | |||||
高度测量 | 显示分辨率 | 0.5 nm | 5 nm | |||
线性标尺 | ||||||
动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度) | 16 bit | |||||
重复精度σ | 20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm*3 | 20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 | ||||
Z轴测量用内存 | 1400 万步骤 | 140 万步骤 | ||||
准确性 | 0.2+L/100μm或更小(L=测量长度)*4 | |||||
Z 载物台结构 | 结构 | 测量头分离结构 | ||||
zui大样品高度 | 28 mm, 128 mm (可选件) | |||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 1 nm | 10 nm | |||
重复精度3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm*3 | 20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 | ||||
XY 载物台结构 | 手动 运行范围 | 70 mm×70 mm | ||||
电动 运行范围 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*5 | |||||
观察 | 观察图像 | 超高精细彩色CCD 图像 | ||||
zui大拍摄分析率 | 3072×2304 | |||||
测量用激光光源 | 波长 | 紫激光 408 nm | 红色半导体激光 658 nm | |||
zui大输出 | 0.95 mW | |||||
激光产品 | 2 类激光产品 (GB7247.1) | |||||
重量 | 显微系统 | 约26 kg(分离时测量头单体: 约10 kg) | 约25 kg(分离时测量头单体: 约8.5 kg) | |||
控制器 | 约 11 kg | |||||
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