分光干涉式激光位移计型号

传感头

SI-F01

SI-F10

SI-F80

分光单元

SI-F01U3

SI-F10U3

SI-F80U3

类型

微型传感头型 传感头

长距离型 传感头

厚度测量型 传感头

测量范围

0.05 至 1.1 mm ^*1

11.3 至 12.35 mm ^*1

0.05 至 1.1 mm ^*6
(可实现的检测距离: 80 至 81.1 mm)

测量用光源

红外 SLD 中心波长 820 nm 输出 0.6 mW, 1 类激光产品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10^*2)

光束直径

ø20 µm^*3

ø40 µm^*3

ø20 µm^*3

线性度

±0.3 µm^*4

±0.3 µm^*7

分辨率

0.25 µm ^*5

导向光源

红色半导体激光 波长 650 nm 输出 0.1 mW, 1 类激光产品 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10^*2)

LED显示

目标靠近测量中心：绿光。目标在测量范围内：橙光。目标在测量范围外：橙光闪烁。0.01% 的 F.S./°C

温度波动

F.S.的0.01%

耐环境性

外壳防护级

传感头

IP67

IP64

环境耐性

环境温度

0 至 +85°C

0 至 +40°C

0 至 +50°C

分光单元

0 至 35°C

环境湿度

传感头

35 至 85% RH(无冷凝)

分光单元

35 至 80% RH(无冷凝)

耐环境性

耐振动

传感头

10 至 55Hz 双振幅1.5mm XYZ各方向2个小时

分光单元

10 至 55Hz 双振幅0.5mm XYZ各方向2个小时

重量

传感头(包含电缆)

约24 g(含连接线)

约38 g(含连接线)

约39 g(含连接线)

分光单元

约1 kg

^*1 表示与传感头正面的距离。对于长距离型传感头，会出现zui大 ±0.2 mm 的个别差异。
^*2 FDA 的激光分类以 Laser Notice No. 50 和 IEC60825-1 为依据。
^*3 表示量測範圍內的zui小光束直徑。
^*4 当测量对象是玻璃板并将平均测量次数设为 256 时获得的值。
^*5 当测量位于测量范围中心的玻璃板表面并将平均测量次数设为 4,096 时获得的值。
^*6 厚度测量型传感头显示玻璃板间距的测量范围。请确保测量对象位于检测距离范围内。
^*7 当测量两块玻璃板间隙并将平均测量次数设为 256 时获得的值。