SMC温调器INR-499系列

为了提高硅圆片和液晶基板等上形成薄膜时的
厚度均匀性， 清除生成物，保持介质(显像液、抗腐
蚀液及洗净液等)粘性的稳定性，都需要进行温度控
制。 SMC公司可提供多种不同要求的温调器，进行
温度控制。

SMC温调器INR-499系列

INR-242-24B-X35
INR-244-316
INR-244-696A
INR-244-733
INR-244-734
INR-244-736
INR-244-745
INR-244-746
INR-244-747
INR-244-748
INR-244-749
INR-244-757
INS-13-672
I-P006
I-P006A
I-P010
I-P010A
I-P015
I-P016A
IP100-010
IP200-02
IP200-100
IP200-105
IP200-105-S
IP200-110-S
IP200-125
IP200-127-STX82
IP200-130
IP200-150
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IP200-200
IP200-210
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IP200-30
IP200-300
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IP200-50
IP-200-50-X38
IP200-75
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IP300-000-NPT
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