半导体车间真空清扫系统/装置

半导体车间真空清扫系统/装置SINOVAC*真空吸尘系统采用SINOVAC吸尘风机产生负压。运行时，粉尘通过SINOVAC吸尘嘴被有效的吸入到SINOVAC真空管路中，在真空负压的作用下，被吸进的粉尘随气流沿着负压管路被抽入吸尘器内部。首先大颗粒粉尘经过SINOVAC除尘预分离器，在离心力的作用下，落入机器下方的集尘桶内；密度极*尘随气流继续向上运动。粉尘进入SINOVAC真空清扫主机过滤室时，被过滤器分离，达到净度级别的清洁空气由机组排风出口，经消音装置排入空气中。过滤器上的粉尘通过系统SINOVAC自动脉冲反吹装置定时反吹交替工作来完成。 并且在进入主机的管道中设置止回阀，控制反向流动的气流将粉尘再次带入洁净室内，保证了吸尘的有效性。

相对于传统吸尘器在温度、气流、噪音、振动、静电等多方面对电子半导体车间内部环境产生破坏，SINOVAC*真空吸尘系统在整个流程中满足电子半导体车间严格的要求：

• SINOVAC*真空吸尘系统主机位于电子半导体车间之外，不会影响到其内部环境；
• SINOVAC吸尘管道，通过热缩套管+金属抱箍连接，密封不漏气，不会对电子半导体车间内气流造成破坏；
• SINOVAC吸尘软管、管道采用防静电设计，满足电子半导体车间要求；
• SINOVAC根据业主要求专门设计的吸头，在提供足够风速吸走所有室内灰尘的同时，只产生轻微的气流声，不影响电子半导体车间噪音控制；
• SINOVAC*真空吸尘系统工作时吸入的气流有限，因此也不会影响电子半导体车间内的正压保持。