德国PI进口压电陶瓷促动器

应用领域

一劳永逸型应用

自适应机械部件

漂移补偿

光学部件的校准

精密机械部件

静态精密定位

计量/干涉测量

如果精密机器内部两个部件之间的目标或实际尺寸发生了改变，例如在半导体制造、测量应用或检验系统中，重新调整也许就有必要了。例如，当机器在客户场地被启动时，初始设定、漂移或公差变化需要在安装后进行补偿。精确研磨至所需尺寸的传统垫片的缺点是它们需要进行机械插入。此外，不受限制的精调有时并不可能，且一旦尺寸确定下来，后续就很难再改。PI (Physik Instrumente)找到了这一问题的最佳解决方案，开发出了PI Rest压电陶瓷“垫片”。当它们被安装在机器中后，有源垫片不仅可以随时重新调整两个部件之间的间隙，还能达到纳米级精度。重要工作参数存储在机械部件的ID芯片上，电控启动后可自动读出。

P-131具有纳米分辨率和长期稳定性的有源垫片

长期稳定性，无需连续电源

对位于无法接近的位置上的机器进行轻

松调整

避免耗时的手动调整过程

纳米分辨率和微米位移

每个促动器的负载能力高达4000牛

温度传感器

德国PI (Physik Instrumente) P-611.1

P-611.1 线性压电陶瓷定位系统

§ 紧凑型设计：表面为44×44毫米

§ 行程120微米

§ 分辨率达0.2纳米

§ 其经济实惠的系统（机械部件和控制 器）

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 可提供Z向位移台、XY、XZ和XYZ版本

PI (Physik Instrumente) 各系列型号如下

PI (Physik Instrumente) M-060.PD

PI (Physik Instrumente) C-844.4DC

PI (Physik Instrumente) E-503.00S

PI (Physik Instrumente) E-625.SR

PI (Physik Instrumente) P-611.1S  

PI (Physik Instrumente) E-727.3SDF

PI (Physik Instrumente) P-721.12Q

PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

PI (Physik Instrumente) C-843.21

PI (Physik Instrumente) M-061.PD

PI (Physik Instrumente) M-060.PD

PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

PI (Physik Instrumente) C-843.21

PI (Physik Instrumente)P-611.10 线性纳米定位系统，120微米，不带传感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.1S 线性纳米定位系统，100微米，应变片传感器

PI (Physik Instrumente)带Sub-D连接器（公头）的版本 

PI (Physik Instrumente)P-620.1CD 精密PIHera 线性纳米定位系统，50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.1CD 精密PIHera 线性纳米定位系统，100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.1CD 精密PIHera 线性纳米定位系统，250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.1CD 精密PIHera 线性纳米定位系统，500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.1CD 精密PIHera 线性纳米定位系统，800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.1CD 精密PIHera 线性纳米定位系统，1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)带LEMO连接器的版本 

PI (Physik Instrumente)P-620.1CL 精密PIHera 线性纳米定位系统，50微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.1CL 精密PIHera 线性纳米定位系统，100微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.1CL 精密PIHera 线性纳米定位系统，250微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.1CL 精密PIHera 线性纳米定位系统，500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.1CL 精密PIHera 线性纳米定位系统，800微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.1CL 精密PIHera 线性纳米定位系统，1500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)不带位置传感器的线性定位器 

PI (Physik Instrumente)P-620.10L 精密PIHera 线性纳米定位系统，60微米，LEMO连接器，不带传感器 

PI (Physik Instrumente)P-621.10L 精密PIHera 线性纳米定位系统，120微米，LEMO连接器，不带传感器 

PI (Physik Instrumente)P-622.10L 精密PIHera 线性纳米定位系统，300微米，LEMO连接器，不带传感器 

PI (Physik Instrumente)P-625.10L 精密PIHera 线性纳米定位系统，600微米，LEMO连接器，不带传感器 

PI (Physik Instrumente)P-628.10L 精密PIHera 线性纳米定位系统，950微米，LEMO连接器，不带传感器 

PI (Physik Instrumente)P-629.10L 精密PIHera 线性纳米定位系统，1800微米，LEMO连接器，不带传感器 线性定位器，真空兼容达10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-620.1UD 精密PIHera 线性纳米定位系统，50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-621.1UD 精密PIHera 线性纳米定位系统，100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-622.1UD 精密PIHera 线性纳米定位系统，250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-625.1UD 精密PIHera 线性纳米定位系统，500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-628.1UD 精密PIHera 线性纳米定位系统，800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-629.1UD 精密PIHera 线性纳米定位系统，1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-630.XCD 带孔径的线性压电陶瓷纳米定位系统，40 微米，直接位置测量，电容传感器 

PI (Physik Instrumente)P-631.XCD 带孔径的线性压电陶瓷纳米定位系统，80 微米，直接位置测量，电容传感器

PI (Physik Instrumente)P-712.10L薄型OEM纳米扫描仪，40μm，开环

PI (Physik Instrumente)P-712.1SL薄型OEM纳米扫描仪，30μm，SGS传感器

PI (Physik Instrumente) 

PI (Physik Instrumente)控制器/驱动器/放大器

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PI (Physik Instrumente)E-625压电伺服控制器和驱动器

PI (Physik Instrumente)饰品

PI (Physik Instrumente)P-895.3LDC适配器电缆，Sub-D 7W2（f）到LEMO连接器（m）

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PI (Physik Instrumente)P-752.1CD 高动态压电陶瓷纳米定位系统，15微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-752.21C 高动态压电陶瓷纳米定位系统，30微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-752.2CD 高动态压电陶瓷纳米定位系统，30微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

PI (Physik Instrumente)带Sub-D连接器（公头）的版本 

PI (Physik Instrumente)P-753.1CD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，12微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.2CD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，25微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.3CD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，38微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器 带LEMO连接器的版本 

PI (Physik Instrumente)P-753.11C LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，12微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.21C LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，25微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.31C LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，38微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器 线性定位器，真空兼容达10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-753.1UD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，12微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-753.2UD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，25微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-753.3UD LISA高动态压电陶瓷纳米定位系统，38微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

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