HORIBA S48-28气体质量流量控制器

HORIBA S48-28HORIBA S48-28气体质量流量控制器

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具体成交价以合同协议为准
2022-03-27 16:19:21
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上海加惠仪器仪表有限公司

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产品简介

HORIBA S48-28气体质量流量控制器

详细介绍

 
HORIBA S48-28气体质量流量控制器
特点
可以任意角度安装
良好的线性——多段线性补偿
快速的响应
流量范围100L-200L/min
电磁阀使用寿命≥100万次
对零点漂移有效的抑制
化的零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口
良好的选择性
S48 28/HMT模拟式气体质量流量控制器 技术参数
项目
S48 28/HMT
流量规格
(100,150,200)L/min
调节阀类型
电磁调节阀
调节阀静止状态
常闭
安装角度
任意
流量控制范围
5%~99%
流量测量范围
0~99%
响应时间
2s(T98,设定值的±2% F.S.)
工作环境温度
5℃~50℃
精度保证温度
15℃~35℃
精度
±1.0%F.S.
线性精度
±0.5%F.S.
重复性
±0.2%F.S.
工作压差
(100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa
耐压
3MPa
泄漏率
1×10-8 Pa•m3/s (He)
接触气体材料
316L,PTFE,Viton氟橡胶
管路接头
Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″
供电电源
±15VDC(±5%)
+15V,<100mA;-15V,<200mA
+24VDC(宽电压+11~+25V),
<350mA(+24VDC供电时)
设定信号
(0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ
4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)
流量输出信号
(0~5)VDC 负载能力≤3mA
 
电气接头
D-SUB15,D-SUB9
重量(kg)
2.8
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