九新 广精圆度仪主要特征:

1、采用先进的全铝技术，的刚性/质量比，保证机器的高性能和高精度；

2、X向采用超高精密三角梁技术，相比矩形横梁，重心更低，质量刚性比佳，运动更加可靠，该先进技术受得保护；

3、Y轴采用整体燕尾式导轨，提高了测量机的精度和重复性；

九新 广精圆度仪Z向采取获得的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的精度和长期稳定性；

三轴均采用高精度德国HEIDENHAIN光栅尺，系统分辨率可到达0.078um，同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形，保证在温度变化是的线性伸缩；各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平稳和准确定位；

采用Croma专业打造的IDC-Ⅰ控制系统，21项误差空间修空间修正技术和自动调偕功能，保证了机器的动态性能和测量精度；M)，功能强大，易学高效。