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美国BROOKS 5850E气体质量流量控制器
型号 | 5850E | 5860E |
流量范围(N2) | 3SCCM~30SLPM | 3SCCM ~ 30slpm |
响应时间 | <3 sec | <2 sec |
精准度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
重复精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
输入/输出信号 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供电电源 | +15 Vdc | +15 Vdc |
耐压 | 1500psi | 1500psi |
压差范围 | 5~50psi | |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
工作环境温度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
使用范围 | 2 ~ * | 2~ * |
接口形式 | 卡套、VCR | 卡套、VCR |
美国BROOKS 5850E气体质量流量控制器，，，
