概述：三维原子探针显微术（3DAP），也称为原子探针断层分析术（APT），是一种具有原子级空间分辨率的测量和分析方法，它可以对不同元素的原子逐个进行分析，并给出纳米空间中不同元素原子的三维分布图形，分辨率接近原子尺度，是目前zui微观、且分析精度较高的一种定量分析手段。

    基本原理：在场离子显微镜中，如果场强超过某一临界值，将发生场致蒸发，即样品*处的原子以正离子形式被蒸发，进而被计算机所搜集。

     由于表面上突出的原子具有较高的位能，总是比那些不处于台阶边缘的原子更容易发生蒸发，它们也正是zui有利于引起场致电离的原子。所以，当一个处于台阶边缘的原子被蒸发后，与它挨着的一个或几个原子将突出于表面，并随后逐个地被蒸发；据此，场致蒸发可以用来对样品进行剥层分析，显示原子排列的三维结构。

   应用领域：可以直接观察到溶质原子偏聚在位错附近形成的柯氏气团（Cottrell 气团），可以分析界面处原子的偏聚，研究沉淀相的析出过程、非晶晶化时原子扩散和晶体成核的过程，分析各种合金元素在纳米晶材料不同相及界面上的分布等。