品牌
厂商性质
所在地
直线伺服的超精密运动平台主要特点
× 精密度高，可定制重复定位精度0.1um或更高精度的精密平台
× 速度高，zui高速度可达到7m/s，*提高生产效率
× 洁净度高，平台运动无需丝杠、减速器等中间部件，无需采用相关维护保养措施，适用高洁净要求环境
× 高刚性，加速性能好
× 动态响应快，执行机构与平台之间无非线性机械部件，可获得*动态响应
× 平台零件少，组装调试简单，零维护
× 平台运动平稳，运动速度从1um/s到7m/s均能适应，推力范围从几牛顿到几万牛顿可选
直线伺服的超精密运动平台广泛应用于半导体加工设备、激光加工设备、电子加工设备、精密机床设备、物流设备、机器人设备、分子筛等
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