中关村光电产业协会关于《微机电系统(MEMS)技术金属薄膜机械性能的
- 来源:中关村光电产业协会
- 2024/10/29 17:45:37
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根据中关村光电产业协会关于团体标准管理的有关规定,经协会标准化委员会审议,《微机电系统(MEMS)技术金属薄膜机械性能的仪器化纳米压入试验方法》、《激光解键合工艺仿真要求》两项团体标准符合立项条件,现批准立项。
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