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广东省真空学会关于发布《半导体设备用低温泵评价规范》团体标准的公

来源:广东省真空学会
2024/8/27 15:28:09
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导读:广东省真空学会发布《半导体设备用低温泵评价规范》团体标准的公告。
  根据《广东省真空学会团体标准管理办法》规定,由中山凯旋真空科技股份有限公司牵头制定的《半导体设备用低温泵评价规范》团体标准,业已通过专家审定并经公示无异议。经学会批准和编号,现对该项团体标准予以发布,于2024年8月2日起实施。
 
  本公告及标准文本可通过全国团体标准信息平台查阅。在标准使用过程若有疑问,请径向学会联系。
 
  联系人:唐振方

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