中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟关于同意《氧化镓单晶位错密度的
- 来源:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
- 2024/7/30 17:18:29
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关村天合宽禁带半导体技术创新联盟第八批团体标准立项评审会于2024年7月4日通过腾讯会议的形式召开,经联盟标准化委员会与会委员表决,本次5项团体标准通过评审并获准立项:
(1)《氧化镓单晶位错密度的测试方法》(牵头单位:北京镓创科技有限公司)
(2)《碳化硅用包材中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》(牵头单位:山西烁科晶体有限公司)
(3)《碳化硅粉体》(牵头单位:山西烁科晶体有限公司)
(4)《碳化硅单晶抛光片边缘缺陷的自动化检测方法 反射和透射偏振法》(牵头单位:北京天科合达半导体股份有限公司)
(5)《碳化硅单晶抛光片包裹物的自动化检测方法 暗场成像法》(牵头单位:北京天科合达半导体股份有限公司)
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