中国膜工业协会关于《半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树
- 来源：中国膜工业协会
- 2024/6/7 17:08:59
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中国膜工业协会、中国膜工业协会标准化委员会于2024年5月24日批准《半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求》、《半导体行业超纯水工艺制程混床用离子交换树脂产品认证技术要求》、《半导体行业超纯水工艺抛光混床用离子交换树脂产品认证技术要求》三项团体标准予以发布。
其中，《半导体行业超纯水工艺预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证技术要求》规定了半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂产品认证的技术要求、试验方法，适用于半导体行业超纯水制备用的预处理阴阳塔用离子交换树脂。
起草单位：江苏苏青水处理工程集团有限公司，宁波争光树脂有限公司，西安蓝晓科技新材料股份有限公司，南京大学，鹤壁市海格化工科技有限公司，蚌埠市天星树脂有限责任公司，中国船舶集团有限公司第七一九研究所，北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司。
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