MC-30AD 专业定制玫尔恒温恒压冷水机组厂家
产品简介
1.恒温恒压冷水机组控制系统是由玫尔公司自主研发,专业对准半导体芯片生产行业,主要对芯片生产设备降温供水的应用
2.恒压供水机组能自动24小时维持恒定压力,并根据压力信号自动调节水压,无级调整压力,供水压力恒定,供水温度恒定。
详细信息
专业定制玫尔恒温恒压冷水机组厂家
专业定制玫尔恒温恒压冷水机组厂家
机组功能
1.恒温恒压冷水机组控制系统是由玫尔公司自主研发,专业对准半导体芯片生产行业,主要对芯片生产设备降温供水的应用
2.恒压供水机组能自动24小时维持恒定压力,并根据压力信号自动调节水压,无级调整压力,供水压力恒定,供水温度恒定。
3.供水压力平滑,减少电机水泵的冲击,延长了电机及水泵的使用寿命,避免了传统供水中的水锤现象。采用变频恒压供水保护功能齐全,运行可靠,具有欠压、过压、过流、过热等保护功
4.系统配置可实现全自动定时供水,*实现无人值守自动供水.PLC编程、彩色触摸屏控制系统具有故障报警和显示功能,并可进行工变频转换,应急供水。
5.系统根据用户用水量的变化来调节水泵转速,使水泵始终工作在高效区,当系统零流量时,机组进入休眠状态,水泵停止,流量增加后才进行工作,节电效果明显,比恒速水泵节电23%-55%
6.变频恒压供水设备不设楼顶水池,既减少建筑物的造价,又克服了水源二次污染。
7.整套设备组合在一套箱壳内,外形美观,安装非常方便,占地面积少。
8.本设备采用全自动控制,操作人员只需启动、停止设备,就可以实现用户所需工况,操作简
二.系统组成
1.本机组为冷冻水循环系统,采用多台全封闭涡旋压缩机组成制冷降温系统,不锈钢多级高压水泵配合三菱变频器组合成冷冻水供水系统。冷却塔、冷却水泵组合成冷却水供水系统。
○.水塔和制冷主机称为冷却水循环,此循环为自来水,为制冷主机散热冷却;
○.制冷主机与储水箱之间为内部循环,此循环为纯净水,制冷主机把储水箱内的水降到18℃; 温差0.1℃(恒温技术采用*)。
○.储水箱与MOCVD之间的为外部冷冻水循环,此循环为纯净水,高压水泵把水箱内18℃
2.水经精密过滤器后送到MOCVD设备,从设备出来23℃的水回至储水箱,进入MOCVD设备的入水压力恒定在在4.5bar,压力可通过控制面板的设定来调节所需的值。
3.冷却水及其它配件内循环水泵、外循环水泵、冷却水塔、冷水储水箱、变频器、点压力变送器、高精密过滤器等组成。
三:恒压供水工作原理:
1.外循环变频恒压供水系统采用压力控制器面板设定点压力(进入2台设备前的水压力值),采用2个压力传感器(反馈为4~20mA)检测水管中压力,压力传感器将信号送入变频器PID回路,PID回路处理之后,送出一个水量增加或减少信号,控制马达转速,来调节入水的压力值。
2.如进入2台MOCVD的压力不同,控制器的PLC会自动计算出进入2台MOCVD前的点压力平均值,再反馈为4~20mA给变频器的PID回路,尽量使进入2台MOCVD的入水压力相同,使实际水管压力与设定压力相*。
3.设定值与实际值产偏差可在±0.2bar,进水压力可恒定在设定值的所允许的范围内(±0.2bar)。
4.当2台MOCVD的进水压力过高或过低时,装在系统管道上的压差旁通会进自动调节水的流向,使进入MOCVD实际水管压力与设定压力相*,随着用水量的减少,变频器自动减少输出频率,达到了节能的目的。