储片盒内晶圆自动搬运传输平台
产品简介
搭载储片盒自动开盖机构
详细信息
储片盒内晶圆自动搬运传输平台能够安全，准确地搬运储片盒内的减薄晶圆。
搭载储片盒自动开盖机构
储片盒内晶圆自动搬运传输平台
- 自动识别储片盒内晶圆和垫纸（层间纸）
- 一台设备可以完成打包和拆包的功能
- 储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
- 可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
- 可自动识别晶圆高度
- 可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
- 可对应Achilles Corporation公司生产的储片盒
- 配备2套高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
- 配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)
应用设备实例
半导体工厂生产线
规格
可对应片盒的种类 200 mm 储片盒, 200 mm 片盒 被搬运物 200 mm 硅晶圆, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片) 洁净度 ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) 外形尺寸 1600 (宽) x 1305 (深) x 1800 (高) 厂务 电源：AC200V±10% 洁净气源：0.5 MPa 150 NL/min 以上 重量 700 kg