4轴圆柱坐标型洁净机械手臂
产品简介
Z轴升降范围超过760 mm以上的部分为多段式，能够有效地降低搬运高度
详细信息
4轴圆柱坐标型洁净机械手臂适用于液晶面板生产设备内部，检测设备等的玻璃基板搬运
Z轴升降范围超过760 mm以上的部分为多段式，能够有效地降低搬运高度
可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬运，双手臂结构，玻璃基板搬运效率更高
- 机械手臂标准臂长：400 mm，500 mm
- Z轴（升降轴）标准长度：400 mm，500 mm，600 mm，760 mm，900 mm（Z轴超过760 mm以上为多段式，实物和照片的外观不同）
- 可搬运重量：手臂第3关节处基准15 kgf以下(400 mm，500 mm)
- 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
- 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
- 基板固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
- 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 手指可以安装多种传感器（校准，有无，Mapping等）
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优的手指
4轴圆柱坐标型洁净机械手臂
应用设备实例
AOI设备；液晶工厂内生产线
规格
| 被搬运物* | 730x920x1.1mm玻璃基板（具有代表性的标准尺寸） | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋转 | 升降 | |
| 可动范围* （手臂第3关节中心基准） | 875 mm | 330度 | 600 mm |
| 搬运速度 (平均速度)* | 1375 mm/1.8sec | 180度/1.8sec | 600 mm/1.7sec |
| 精度* | 8.20µm以下 | 0.0008度 | 2.4 µm |
| 搬运高度* | 271mm（法兰安装面到上手指的晶圆安装面的高度） | ||
| 重复性精度 | ±0.2mm以内 | ||
| 洁净度 | 0.3µm/cf Class10（驱动结构内部独立排气的条件下） | ||
| 厂务 | 电源：3相AC200V±10% 3kVA 真空：优于-73kPa | ||