3BSE015196R1
产品简介
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详细信息
详细描述：3BSE015196R1
①DCS集散式控制系统、PLC可编程控制器、数控系统、ESD系统，振动监测系统，汽轮机控制系统
(CPU处理器、模拟量输入输出模块、卡件、控制器、伺服控制器、电源模块，机器人备件等)
PLC是控制系统的核心，程序结构直接影响控制系统的性能，其难点在于配方程序的执行。上位机程序采用模块化编程思路，可对设备硬件的更改做出迅速反应，容易维护、扩展性好、可读性强。MOCVD工艺过程中需要控制的变量众多，并且众多变量之间相互关联，采用单独手动操作是满足不了实时性和可重复性要求的，只能采用配方程序的方式自动控制各个变量。因为生长各种材料的工艺要求不同，配方程序要求能够实现工艺步的循环嵌套，工艺条件的等待，变量赋值线性变化，跳过工艺步和在线实时修改等功能。由于本团队开发的控制系统可一次性传送整个配方程序给PLC，而不是一次传送一步工艺，所以降低了上位机与PLC通讯硬件方面的要求，提高了整个控制系统的可靠性。
该软件可以对所有的数字量、模拟量进行手动控制，可以对所有参数的历史数据进行统计分析，并自动计算出工艺工程师所关心的参数，如生长每一层结构所消耗的实际反应物的物质的量。其配方程序的编写和编译具有以下优点：一次性传送整个配方程序，程序后台运行，上位机可只当做监控系统；可实现工艺条件等待、工艺步循环和嵌套；变量赋值线性变化；可实现跳过工艺步、配方程序在线实时修改。
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