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上海测拉力传感器,力准厂家

供应商:
深圳力准传感技术有限公司
企业类型:
生产厂家

产品简介

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详细信息

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  【深圳力准传感】专业描述称重压力传感器使用技巧?

 本发明涉及一种微型惯性传感器(micromachined inertia sensor)的结构及其制造方法,特别是涉及一种钟摆式的微型惯性传感器的结构及其制造方法。

  微加工技术(micromachining technology)是一种新兴的技术,其主要用以制造各种微型传感器及微型制动器,因此可利用该微加工技术来制作微型惯性传感器,此微型惯性传感器包括有微加速规(Microaccelerometer)及微陀螺仪(Microgyroscope),其优点为体积轻薄短小,且适合批量生产,价格便宜,更可推广至汽车、游戏摇杆及3-D鼠标等消费性电子产品中。

  但是基本上的微型惯性传感器绝都为固态传感器,其通常具有一质量块及用于支撑该质量块的至少一支脚,由于受到半导体制程及现有微加工技术的限制,目前传统的微型惯性传感器在结构上仍有许多缺点。例如,由多晶硅面型微加工技术(Poly-Silicon surface micromachining)制成的产品质量不够大,且感测电容值也不够大,并且由于质量块的运动方向及支脚在同一平面而限制了运动的自由度,或者是单晶硅体型微加工技术(Silicon bulk micromachining)无法生产出多轴的惯性传感器,如二维的加速规。

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