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OAI INSTRUMENTS光源

     OAI INSTRUMENTS是业内生产可靠并精密设备的MEMS，半导体，纳米技术，洁净室自动化和紫外线光测量的优秀制造商。OAI系统可同时用于研发和生产半导体，MEMS和微流体装置。从光罩对准和UV光源UV电力仪表，OAI是在同行业中的者超过35年。OAI光功率计以其测量精度，重复性著称，测量数据符合美国NIST标准，广泛应用于半导体光刻能量测量及控制。

产品范围：OAI INSTRUMENTS光源

美国OAI INSTRUMENTS曝光机、OAI INSTRUMENTS光刻机、OAI INSTRUMENTS光源、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率计、OAI INSTRUMENTS分析仪

主要型号：OAI INSTRUMENTS光源

Model 306、Model 308、Model 311、Model 316、Model 317、Model 356、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459

美国OAI INSTRUMENTS Model 800半自动光刻机简介：

光刻方式：接近式，软，硬，真空接触式

曝光距离：0-3000μm

间隙调节步进：1um

机械精度：1.5um

光刻精度：软接触2um,硬接触小于1um

美国OAI INSTRUMENTS Model 6000全自动光刻机技术规格：

光刻方式：接近式，软，硬，真空接触式

基底尺寸：2-12寸晶圆或者zui大200mm方形

曝光分辨率：

真空接触:0.5-0.8um

硬接触:0.8-1.0um

软接触:1.0-3.0um

接近式(20um 间隙):3.0um

曝光均匀性：优于±3%

对准精度：顶面0.5um，底面1.0um（选件）

产量：180片/小时zui大

我司优势提供：

STORK-TRONIC   温控探头       TF PTC 6×100mm -35/105℃ 6m IP64

STUBBE（ASV-STUBBE） 气动阀    TYP;K210 NO;644610802

STUBBE（ASV-STUBBE） 气动阀    TYP;K210 NO;644610802

STUBBE（ASV-STUBBE） 气动阀    TYP;K210 NO;644610802

TAPFLO 气动隔膜泵    TR20 TTT-7PV

TECMOTION 电动机    SM4065-P32/4.28-E2-500-157-I 24V-1100tr/min+E2-500-157-1-D-D-B

TECMOTION 电动机    SM4065-P32/4.28-E2-500-157-I 24V-1100tr/min+E2-500-157-1-D-D-B

TECNOCABLAGGI      变压器    COD.PSPMKS200003500004

TECSYSTEM 过负荷保护    T-154 AC/DC 24-240V

TECSYSTEM 变压器温控器       T154ED 08 24+240Vdc/ac

TECSYSTEM 变压器温控器       T154ED 08 24+240Vdc/ac

TER 急停按钮       PRSL1001PI

TER 凸轮开关       PFA9067A0050005

TUNKERS     气缸      PKS16-1-A00T03-105GRAD_构型

VAISALA      温湿度传感器      HMW82

Val.co（valco）     浮球液位开关       S1.B45.7.0100.O.FDPX

VALTEK 气动增速器    Supply：150psi MAX  conn：3/4-inch NPT

WALTHER(Walther Prazision)      接头       HP-010-2-S1220-12-2

WATSON SMITH   电气转换器    422_4-20mA 3-15Psi

WATSON SMITH   电气转换器    INTRINSICALLY SAFE I/P CONVERTER：TYPE 122,输入：4-20mA

WEIGEL 交流电压变送器    V1U2.2 输入0-115V 48-60HZ 输出4-20MA 工作电源UH195-293V

WEIGEL 交流电流变送器    A1U2.2 输入0-5V 输出4-20MA 工作电源220V