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技术参数：

原子力显微镜测量模式: 接触式原子力显微镜，真正非接触式，横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉，三维扫描成像。 

●  扫描器zui大测量范围：110um X & Y range，22um Z range 
●  大尺寸样品台，全自动测量zui大直径为160mm样品。 
●  PZT/Voice Coil双模式技术AFM 
●  全自动运动平台，马达驱动 
●  批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像 
●  *的32-bit DSP控制器，反馈技术(扫描范围>10um时zui高扫描20 Hz,消除爬行现象) 
●  可以进行纳米压痕和划痕实验 
●  光学系统， XY闭环扫描技术 
●  *开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发

主要特点：

● 扫描器zui大测量范围：110um X & Y range，22um Z range

● 大尺寸样品台，全自动测量zui大直径为160mm样品。

● PZT/Voice Coil双模式技术AFM

● 全自动运动平台，马达驱动

● 批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像

● *的32-bit DSP控制器，反馈技术(扫描范围>10um时zui高扫描20 Hz,消除爬行现象)

● 可以进行纳米压痕和划痕实验

● 光学系统， XY闭环扫描技术

● *开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发