面积流量计
产品简介
详细信息
特長
●超微少の流量制御が可能です。
●精密ニードルバルブ使用。
●下部?上部2タイプのバルブ。
●豊富なバリエーション。
●精密ニードルバルブ使用。
●下部?上部2タイプのバルブ。
●豊富なバリエーション。
用途
●機器組込用に。
●半導体関連ガス機器に。
●バイオ産業向けに。
●真空ライン制御に。
●半導体関連ガス機器に。
●バイオ産業向けに。
●真空ライン制御に。
標準仕様
| ガス | 液体 | |
|---|---|---|
| 流体名 | Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2 （実ガス校正） 他ガスは換算校正 実ガス校正別途相談 ※オプション：2種流体目盛 | 標準流体（水） 他液体は換算校正 実液校正別途相談 |
| 流量レンジ | 0.5～5ML/MINから10～100L/MIN ※オプション：0.5～3ML/MIN | 0.5～5ML/MINから0.2～2L/MIN ※オプション：0.5～3ML/MIN |
| 精度 | FS±2%（計測ポイント） ※オプション：FS±1%（計測ポイント） | FS±2%（計測ポイント） |
| 耐圧 | 100ML/MIN以下：1.0MPa 5L/MIN以下：0.7MPa 10L/MIN以上：0.5MPa | 5ML/MIN以下：1.0MPa 150ML/MIN以下：0.7MPa 200ML/MIN以上：0.5MPa |
| 有効目盛 | 10：1 ※オプション 20：1 | |
| 材質 | ＳＳ製 | ＢＳ製 |
| 本体ブロック | SUS316 | 真鍮 |
| テーパー管 | パイレックス® | |
| パッキン | バイトン® | ＮＢＲ |
| フロート | パイレックス®、SUS316、SUS304 | |
| 保護カバー | アクリル | |
| 耐温度 | 120℃ | 70℃ |
| 接続口 | Rc1/4（標準）、Rc1/8（オプション） | |
キャパシティリスト
| Ａｉｒ（大気圧条件流量） ML/MIN、L/MIN | |||||||||
| mm | 5ML | 10ML | 20ML | 30ML | 50ML | 100ML | 150ML | 200ML | 300ML |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 126 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 156 | - | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 206 | - | - | - | - | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 256 | - | - | - | - | - | ○ | ○ | ○ | ○ |
| mm | 500ML | 1L | 2L | 3L | 5L | 10L | 15L | 20L | 30L |
| 126 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 156 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 206 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 256 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| mm | 50L | 100L | |||||||
| 126 | ○ | - | |||||||
| 156 | ○ | ○ | |||||||
| 206 | ○ | - | |||||||
| 256 | ○ | - | |||||||
| Ｈ２Ｏ ML/MIN、L/MIN | |||||||||
| mm | 5ML | 10ml | 20ML | 30ML | 50ML | 100ML | 150ML | 200ML | 300ML |
| 126 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 156 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 206 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 256 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| mm | 500ML | 1L | 2L | ||||||
| 126 | ○ | ○ | - | ||||||
| 156 | ○ | ○ | ○ | ||||||
| 206 | ○ | ○ | ○ | ||||||
| 256 | ○ | ○ | - | ||||||
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