日本Ulvac爱发科|干式真空泵|LR / HR系列
产品简介
详细信息
LR / HR系列
在心血管疾病的硬盘过程中，压缩热，这是自己的高温度均匀性技术的有效利用这一干泵系列高耐用性，蚀刻等。
在光的过程，约达70％的电力消耗削减泵上的ECHO - SHOCK的可能。CE标志是可用于所有系列（可选）。
特点
LR系列：低温度分布的均匀性。疏散的LL室的*泵除了PVD工艺，减少排气时间是很重要的了吞吐量。
HR系列：高温度分布的均匀性。排气CVD和蚀刻工艺产生的气态的升华，它是可能的。
降噪PDR - 180C：74分贝→LR180：68.5分贝
泵承受功率高达500ms的持续时间中断。
CE标志是可供索阅。
应用
激活气体疏散（CVD和蚀刻等）
惰性气体疏散（PVD，蒸发，热处理工艺等）
LL室LR系列排气时间的减少
疏散过程中产生粉末（硅晶体生长炉等气体）
涡轮分子泵和机械增压泵等的前级泵