日本Ulvac爱发科|干式真空泵| ER系列节能的干泵
产品简介
消耗功率：高达58％，比以前的ULVAC公司模型低
消耗减少：可以操作与OSLM N 2吹扫
（清洁撤离应用）。
杰出的耐腐蚀性
应用
没有一代的升华物质的化学气相沉积和蚀刻
溅射和装载/卸载商会
涡轮分子泵和其他辅助疏散泵
详细信息
ER系列节能的干泵
ER系列是加入到ULVAC的PDR - C系列，SIN - LPCVD流行，金属蚀刻和其他苛刻的进程产生升华物质。
ER系列过程中的应用等作为溅射，灰化，蚀刻需要耐腐蚀的。
ER系列是zui节能的保存在行业机型，采用直流无刷电机和优化每一个疏散阶段的能力。
ER系列是加入到ULVAC的PDR - C系列，SIN - LPCVD流行，金属蚀刻和其他苛刻的进程产生升华物质。
ER系列过程中的应用等作为溅射，灰化，蚀刻需要耐腐蚀的。
ER系列是zui节能的保存在行业机型，采用直流无刷电机和优化每一个疏散阶段的能力。
特点
消耗功率：高达58％，比以前的ULVAC公司模型低
消耗减少：可以操作与OSLM N 2吹扫
（清洁撤离应用）。
杰出的耐腐蚀性
应用
没有一代的升华物质的化学气相沉积和蚀刻
溅射和装载/卸载商会
涡轮分子泵和其他辅助疏散泵