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低温真空泵 型号:AWR11-CP-200

库号：M293227  

低温真空泵 （又称低温泵、冷泵、冷凝泵）是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵，是无油高真空环境获得设备。低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程，是集成电路设备中的关键设备之一；低温泵也用于各种其它镀膜设备和真空应用设备中。
型号:AWR11-CP-200
抽速 Pumping Speeds （l/s）：
For H2O 4200 For Air 1500 For H2 2500
For Ar 1200 For He 750

降温时间 Cool Down Time （min）：≤ 90

泵口法兰 Inlet Flange （ 可根据用户要求定制 ） ：ANSI 6 in. 或 CF 10 in. 或 ISO 200mm

适合应用于希望获得 10-1 Pa 至 10-9 Pa 真空度的场合，尤其适合应用于要求洁净无油和或快速抽气的场合，例如：

• 溅射镀膜          型号:AWR11-CP-200

• 蒸发镀膜

• 离子注入

• 分子束外延

使用以上设备的工业真空镀膜，例如：半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子 器件和真空电子器件制造、平板显示器件镀膜

• 电子束设备

• 空间模拟装置

• 高能物理研究装置

• 加速器束流管

• 表面分析装置

• 质谱仪             型号:AWR11-CP-200

• 真空排气装置

• 其它高真空或高真空装置

的组成

由低温泵头、氦压缩机和金属软管三部分组成。