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设计特点

六自由度定位，线性行程达 60 mm，角度行程达 30°

具有保证定位精度规格的精密设计

最小增量运动，在 XYZ 中为 20 nm，在 θxθyθz 中为 0.2 μrad

灵活的配置和定制

可根据要求提供真空制备

强大的控制和软件，可实现工件和刀具坐标系的可视化

市场特别的性能

运动系统的设计和规范中存在许多权衡。HEX300-230HL 具有高速和亚微米级精度，消除了应用规格的妥协。Aerotech 的 HexGen 六足位移台是当今市场上能保证定位精度规格低于 5 μm 的六足位移台。

优秀的结构设计

HEX300-230HL 由六个高精度支柱驱动，这些支柱由精密预紧轴承、滚珠丝杠和驱动部件构成。与由直流有刷伺服电机驱动的竞争性六足位移台不同，HEX300-230HL 由 Aerotech 的交流无刷、无槽伺服电机驱动，可大限度地延长设备使用寿命和性能。与使用皮带、齿轮箱或柔性联轴器的竞争性设计相比，将交流无刷伺服电机直接耦合到滚珠丝杠上可以提高驱动刚度、提高定位精度和更好的最小增量运动（XYZ 为 20 nm，θxθyθz 为 0.2 μrad）。专门设计的支柱枢轴接头提供低摩擦和高刚度，增强了六足位移台的整体性能。

设计灵活性

HEX300-230HL 的设计为用户优化了灵活性和定制选项。平台和底座可以通过用户特定的功能或安装模式轻松修改。HEX300-230HL 在平台上具有直径为 100 mm 的通光孔径，而底座上具有直径为 60 mm 的通光孔径，允许从底部进入工件。底座安装孔直接适用于英制或公制光学平台。

提供真空选项

Aerotech 六足位移台可以真空制备，用于同步加速器样品或光学操作、半导体制造和检测或卫星传感器测试等要求苛刻的应用。

强大的控件和软件

驱动 HEX300-230HL 的是 Aerotech 基于软件的 Automation1 机器控制器。Automation1 控制器基于多年在困难运动学应用方面的经验，可通过直观的界面和实时运动可视化，在多个用户定义的坐标系中对六足位移台进行简单的编程和控制。Aerotech 的免费 HexGen™ 选型软件能够轻松模拟六足位移台的可用行程和工作空间。