PTS-17 系列惯性电机平移台
产品简介
详细信息
PTS-17系列平台采用惯性电机作为驱动,可选配微型反馈系统,具有优良的定位及位置反馈性能;该系列平台宽度均为17mm,高度均为11.5mm,结构精巧,实现超小尺寸、高精度、长寿命。主体采用高硬度航空铝材质,驱动部件可实现纳米级步进量。因此适用于小空间、小负载、微米及纳米级运动定位运用场景。
特点:超小体积、高重复定位精度。
使用场景:光学腔体、真空环境、小空间运用场景。
型号 | PTS-17-12/G | PTS-17-20/G | PTS-17-25/G | PTS-17-30/G | PTS-17-35/G | PTS-17-40/G | PTS-17-50/G | PTS-17-60/G |
行程(mm) | 12 | 20 | 25 | 30 | 35 | 40 | 50 | 60 |
直线度(μm) | 5 | 10 | 15 | 20 | 25 | 30 | 35 | 35 |
偏摆(arcsec) | ±20 | ±20 | ±20 | ±40 | ±40 | ±60 | ±60 | ±60 |
俯仰(arcsec) | ±20 | ±20 | ±20 | ±40 | ±40 | ±60 | ±60 | ±60 |
分辨率(nm) | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 |
重复定位精度(nm) | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 |
精度(μm) | ±2 | ±2 | ±2 | ±2 | ±3 | ±3 | ±3 | ±3 |
速度(mm/s) | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
负载(kg) | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
开环最小步进量(nm) | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
闭环最小步进量(nm) | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 |
驱动方式 | 惯性电机 | 惯性电机 | 惯性电机 | 惯性电机 | 惯性电机 | 惯性电机 | 惯性电机 | 惯性电机 |